台阶仪是一种常见的工业测量仪器，广泛应用于大学、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域。它能完成对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。 工作原理 当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。 CP200台阶仪采用线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13um量程下可达0.01埃，具有良好的测量精度及重复性。高信噪比和低线性误差，使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。可以测量...